Zeiss、ASMLのEUVスキャナー生産能力を左右するドイツ拠点を拡張

Zeiss Semiconductor Manufacturing Technologyは、ドイツ南部オーバーコーヘンにある生産・関連スペースを約25,000平方メートル拡張することを発表しました。この拡張により、ASMLのEUVリソグラフィースキャナーに不可欠な光学カラムの製造能力が向上します。オーバーコーヘンとヴェッツラーは、ASMLのスキャナー用光学カラムを製造できる世界で唯一の場所であり、Zeiss SMTの生産能力がASMLのシステム生産台数を制限する要因となっています。ASMLは2027年までにLow-NA EUVの生産量を約30%引き上げる計画です。Zeiss SMTはASMLにとってレンズ、ミラー、イルミネーターなどの主要光学部品の唯一のサプライヤーであり、2025年の購入額は44.1億ユーロに達しました。ASMLはZeiss SMTに対して多額の融資や前払いを行っており、両社の緊密な関係が示されています。Zeiss SMTは2025年度に50.55億ユーロの売上を記録し、Zeissグループの最大セグメントとなっています。